ZrC/ZrB2纳米多层膜的微结构和耐磨性

• 作者: 李德军 杨瑾
• 来源期刊: 天津师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 ZrC/ZrB2纳米多层膜 微结构 耐磨性
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444|TG174.4
• 字数: 2508字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1114.2007.01.006

摘要

采用射频磁控溅射方法在Si(100)基底上制备了一系列ZrC/ZrB2纳米多层膜和ZrC,ZrB2单层薄膜.通过扫描电子显微镜(SEM),MS-T3000摩擦磨损仪及表面轮廓仪(XP-2)研究了薄膜的微结构和耐磨性.结果表明,多层膜的界面清晰,调制周期性好,周期为3.52 nm的多层膜摩擦系数最小,约为0.24;ZrC/ZeB2纳米多层膜的耐磨性优于ZrC和ZrB2单层薄膜;ZrC/ZrB2多层膜耐磨性提高的主要原因是,调制结构中大量界面的存在,提高了薄膜的韧性,从而增强了薄膜的耐磨性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑾	天津师范大学物理与电子信息学院	14	36	4.0	4.0
2	李德军	天津师范大学物理与电子信息学院	73	242	7.0	11.0