磷化氢的制备与精制

• 作者: 于剑昆
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 磷化氢 半导体工业 掺杂剂 熏蒸剂
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TQ126.33
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4990.2007.03.004

摘要

磷化氢(PH3)是一种重要的电子特气,主要用于n型半导体的掺杂、离子注入和化学气相沉积(CVD)等.此外,它在粮食熏蒸、含磷化合物的合成、含磷玻璃及太阳能电池等领域中也有广泛的应用.综述了磷化氢的工业合成方法,主要有化学法、电解法和微波法3类,其中化学法又分为热解法、酸法、碱法和水解法等.为满足电子工业高纯度的需求,需对磷化氢进行精制.总结了磷化氢的精制方法,主要有吸附法、低温精馏法和膜分离法等.同时介绍了磷化氢的国内外技术经济概况和产品规范.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于剑昆		86	542	13.0	17.0