基于人工神经网络的氮化锆薄膜颜色预测模型

• 作者: 孙维连 牛建钢
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化锆薄膜 颜色 人工神经网络 预测
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1986字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.02.009

摘要

建立了氮化锆薄膜制备工艺参数与薄膜色度参数之间的人工神经网络预测模型,结果表明,预测结果与实测结果吻合,最大色差在5.45以内.利用所建立的模型研究了单个参数对薄膜颜色的影响规律,及多参数间交互作用与薄膜颜色的关系.并且利用神经网络根据加工要求反向预测工艺参数,从而实现了对加工参数的优化选择.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙维连	河北农业大学机电工程学院	96	375	10.0	12.0
2	牛建钢	河北大学质量技术监督学院	11	37	3.0	5.0