离子渗钨-钼锯条溅射率与吸收率的研究

• 作者: 高原
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 离子渗金属 锯条 溅射率 吸收率
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 技术应用
• 页码范围: 49-50
• 页数: 2页
• 分类号: TG1
• 字数: 1669字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2007.01.014

摘要

将74 μm(200目)的W和Mo粉按重量比2∶8均匀混合,经过成型、烧结、轧制,制成尺寸为300 mm×60mm×8.5 mm的板状源极,利用双层辉光离子渗金属技术,在以20钢为基材的手用锯条齿部表面,渗入W、Mo元素形成合金化层.通过100炉次共计50万支离子渗W、Mo手用锯条生产,计算出源极W、Mo原子的平均溅射率为0.095.W、Mo原子被锯条齿部表面的平均吸收率为26%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高原	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	145	940	14.0	24.0