m面蓝宝石衬底上ZnO外延薄膜的性能

• 作者: 崔军朋 曾一平 段垚 王晓峰
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: m面蓝宝石 ZnO外延薄膜 微米级
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 157-159
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.054
• 字数: 1580字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.037

摘要

采用自行研制的CVD设备在m面蓝宝石衬底上成功生长了微米级的ZnO外延薄膜.采用X射线衍射(XRD)和双晶X射线摇摆曲线(DXRD)研究了所生长ZnO薄膜的结构特征.利用扫描电子显微镜(SEM)观测了ZnO样品的截面,并测得其厚度.同时利用室温光致发光(PL)谱及霍尔(Hall)测试研究了ZnO外延薄膜的光学性质和电学性质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓峰	中国科学院半导体研究所新材料部	57	953	14.0	30.0
2	曾一平	中国科学院半导体研究所新材料部	85	439	11.0	16.0
3	崔军朋	中国科学院半导体研究所新材料部	2	5	1.0	2.0
4	段垚	中国科学院半导体研究所新材料部	5	13	3.0	3.0