用复合监控法镀制的TEA CO2激光器增透膜

• 作者: 余文峰 夏文建 李蓬 杨春华 程祖海
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 膜厚监控 复合监控 TEACO2激光器
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2525字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2007.01.020

摘要

比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点,提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法,利用该复合监控方法采用离子辅助镀工艺镀制的TEA CO2激光器增透膜,其透射率高于99.5%,且具有良好的稳定性和重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程祖海	华中科技大学激光技术国家重点实验室	97	785	14.0	21.0
2	余文峰	华中科技大学激光技术国家重点实验室	25	142	7.0	10.0
3	杨春华	华中科技大学激光技术国家重点实验室	9	35	3.0	5.0
4	李蓬	华中科技大学激光技术国家重点实验室	3	2	1.0	1.0
5	夏文建	华中科技大学激光技术国家重点实验室	6	68	3.0	6.0