采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究

• 作者: 吴先映 张孝吉 张旭 张荟星 李强 王耀辉
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁过滤 类金刚石膜 过滤电流
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 页码范围: 971-974
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 1730字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2007.12.003

摘要

采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯管电流和在有过滤磁场存在条件下不同的C2H2气压对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构的影响规律.实验结果表明:薄膜是由TiC和类金刚石两种结构组成的复合薄膜.C2H2气压和过滤弯管电流都对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构有显著的影响.增加C2H2气压和过滤弯管电流都使薄膜中Ti元素的原子百分含量逐渐下降,C元素的原子百分含量逐渐增加,TiC峰强度逐渐降低,半高宽逐渐增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李强	北京师范大学低能核物理研究所北京市辐射中心	70	1206	19.0	33.0
2	张荟星	北京师范大学低能核物理研究所北京市辐射中心	17	115	6.0	10.0
3	张旭	北京师范大学低能核物理研究所北京市辐射中心	37	208	8.0	13.0
4	吴先映	北京师范大学低能核物理研究所北京市辐射中心	11	73	4.0	8.0
5	张孝吉	北京师范大学低能核物理研究所北京市辐射中心	5	57	3.0	5.0
6	王耀辉	北京师范大学低能核物理研究所北京市辐射中心	11	32	2.0	5.0