IC工厂水的回收与回用

• 作者: 王凌旭
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 分质回收 纯水回用
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TU8
• 字数: 2994字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2007.04.017

摘要

针对不同的芯片工厂类型的用水特点,提出不同的纯水回用方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凌旭		3	3	1.0	1.0