飞秒脉冲激光沉积法的动力学过程实验研究

• 作者: 乔燕 周幼华 郑启光 陆培祥 陈娴娟
• 来源期刊: 江汉大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒 脉冲激光沉积 薄膜 β-FeSi2
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 33-36,62
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3940字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0143.2007.04.009

摘要

用钛宝石飞秒激光器将最大峰值功率密度为1.14×1013w/cm2的激光作用在Bi14Ti3O12陶瓷靶、Cu靶、FeSi2合金靶上,研究产生等离子体羽的颜色和形状一般规律:内芯均为白色对应于高温高压等离子体;紧跟内芯的是等离子体的复合形成中性粒子的区域;颜色单一的外层是温度较低的中性粒子和低温等离子体区.飞秒脉冲激光产生的等离子体呈cos4θ的角分布.在准分子脉冲激光沉积下衬底温度为500℃时β-FeSi2薄膜的生长模式是Volmer-Weber模式,村底温度为550℃时β-FeSi2薄膜的生长是stranski-Krastanov模式.实验发现飞秒激光沉积技术能解决传统PLD法中产生大尺寸微滴的缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑启光	华中科技大学激光技术国家重点实验室	32	305	10.0	15.0
2	陆培祥	华中科技大学激光技术国家重点实验室	44	232	9.0	12.0
3	周幼华	江汉大学物理与信息工程学院	12	68	6.0	7.0
5	乔燕	江汉大学物理与信息工程学院	9	27	3.0	5.0
8	陈娴娟	华中科技大学激光技术国家重点实验室	2	11	2.0	2.0