压电谐振滤波器的高频谐波响应

• 作者: 王军波 陈健 陈德勇
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电系统 压电谐振滤波器 静电谐振滤波器 高频谐波
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.01.003

摘要

提出压电谐振滤波器不能很好地滤除高频谐波的问题,结合一个具体例子理论推导了压电谐振滤波器存在许多干扰谐振频率,从而不能有效滤除一些特定频率的干扰信号.为了解决这个问题,提出一种改进型的静电激励谐振滤波器.为了说明其可行性,具体分析了改进型双端固支微梁静电激励谐振滤波器,理论推导证实基于双端固支微梁的各阶振型正交的原理,通过适当调整激振电容的间距,双端固支微梁的高阶振动模态受到很好的抑制,因此这种谐振滤波器可以有效阻止滤波器中心频率的高频谐波的通过.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈健	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	115	1360	17.0	34.0
2	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
3	王军波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	41	304	10.0	16.0