氧化铝陶瓷金属化技术的研究进展

• 作者: 任高潮 王德苗 马元远
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: Al2O3陶瓷 金属化 真空溅射
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 41-43,47
• 页数: 4页
• 分类号: TB756
• 字数: 3059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2007.05.011

摘要

综述了Al2O3陶瓷金属化技术的国内外研究现状与进展,简要介绍了目前主要应用的几种金属化方法,并着重分析了真空溅射镀膜金属化技术中薄膜材料、膜层厚度以及工艺参数对金属化质量的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王德苗	浙江大学信电系	66	789	15.0	24.0
2	任高潮	浙江大学信电系	13	64	5.0	8.0
3	马元远	浙江大学信电系	3	58	3.0	3.0