磁悬浮式微动工作台驱动方案的设计与实现

• 作者: 张丽琼 张贵珍 陈本永 陈艇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: 磁悬浮 微动工作台 驱动电路
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 213-216
• 页数: 4页
• 分类号: U2
• 字数: 2447字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.01.047

摘要

磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围高精度的微运动.本文论述了磁悬浮式微动工作台驱动电路的主要性能参数、驱动方案的选择,设计了两种驱动电路,并进行了实验研究,最后根据试验结果对两种驱动电路进行分析比较,得出了满足该磁悬浮式微动工作台运动要求的驱动方法,为磁悬浮式微动工作台的整体设计及其控制提供了技术支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张丽琼	浙江理工大学纳米测量技术实验室	12	56	3.0	7.0
2	陈本永	浙江理工大学纳米测量技术实验室	63	361	11.0	17.0
3	张贵珍	浙江理工大学纳米测量技术实验室	2	24	2.0	2.0
4	陈艇	浙江理工大学纳米测量技术实验室	1	4	1.0	1.0