液相法沉积DLC的表征及交流阻抗谱

• 作者: 刘贵昌 汲大朋 王华
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 甲醇 乙醇 电沉积 拉曼光谱 傅立叶变换红外光谱 扫描电镜 电化学阻抗谱
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 9-11
• 页数: 3页
• 分类号: TG147.23|TN304.18
• 字数: 2551字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-227X.2007.07.003

摘要

分别以乙醇和甲醇为电解液,采用电化学沉积法,在Si(100)表面得到碳薄膜.通过拉曼光谱和傅立叶变换红外光谱分析,证实所制备的薄膜具有类金刚石(DLC)结构特征.利用扫描电子显微镜对不同工艺制备的薄膜进行了表面形貌分析,并研究了样品在0.5 mol/L H2SO4溶液中的电化学交流阻抗谱.结果表明,与在乙醇体系中制得的DLC膜相比,在甲醇体系中制得的DLC膜具有更好的表面形貌和更好的抗腐蚀能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘贵昌	大连理工大学化工学院	81	713	15.0	23.0
2	王华	大连理工大学化工学院	34	340	8.0	17.0
3	汲大朋	大连理工大学化工学院	1	2	1.0	1.0