U形箝位机构对微驱动器运动精度的影响研究

• 作者: 尹子栋 陶华
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 超磁致伸缩材料 尺蠖运动 电磁箝位 微驱动器
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 419-424
• 页数: 6页
• 分类号: TB381|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2007.03.013

摘要

讨论利用尺蠖运动机理实现大行程线性运动的微型驱动器,特别就其U形箝位机构对驱动器运动精度的影响进行探讨.分析结果表明,电磁箝位脚与行走台面间磁路气隙的大小将影响箝位力和箝位剩磁力的大小;箝位脚因箝位剩磁力和重力引起的摩擦力而发生挠变形,此箝位脚的刚度将影响微驱动器行走步长或导致回窜;箝位力不足或箝位剩磁力过大时可致二维驱动器的直线运动发生偏转.文中研究的驱动器,电磁箝位脚与行走台面间的磁路气隙应不小于5 μm,以20 μm ～40 μm为最佳;驱动器伸缩部分的最小伸缩量ΔL应大于0.52 μm,驱动器才能有累加位移;二维驱动器的空载直线运动的最小箝位电磁力应大于27.8 N.