钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
基础科学期刊
\
null期刊
\
西安交通大学学报期刊
\
一种新的低成本微电子机械系统微针加工方法
一种新的低成本微电子机械系统微针加工方法
作者:
孙潇
朱军
李以贵
贾书海
原文服务方:
西安交通大学学报
微电子机械系统
微针
同步辐射
光刻
摘要:
提出了一种新的空心微针阵列加工方法,利用三次同步辐射曝光和显影过程来加工微针.通过无掩膜曝光实现显影腐蚀的侧向扩展,从而获得微针的尖部形状;为克服因同步辐射光源的光束为近似椭圆高斯分布所造成的微针呈椭圆形及微针在各个方向上的强度不均匀问题,采用正交两次曝光方法来补偿同步辐射光源的光束分布不均匀性.这种方法工艺过程非常简单,并且无需任何特殊装置.文中所有实验是在日本立命馆大学的超导压缩存储环同步辐射光源AURORA的第13条线上完成的.实验结果表明,利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的空心微针,实现微针阵列的低成本、批量化制造.
免费获取
收藏
引用
分享
推荐文章
微电子机械系统中微尺度热物性研究进展
微尺度
薄膜
热物性参数
微电子机械系统
微电子机械系统的几个力学问题
微电子机械系统
界面(相)力学
薄膜基底结构
弹塑性一粘着接触力学
微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
微电子机械系统
微电子
光测力学
微电子机械系统的力学特性与尺度效应
微电子机械系统
硅材料
尺度效应
微执行器
微机器人
微机械
内容分析
文献信息
版权信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
一种新的低成本微电子机械系统微针加工方法
来源期刊
西安交通大学学报
学科
关键词
微电子机械系统
微针
同步辐射
光刻
年,卷(期)
2007,(5)
所属期刊栏目
专题研究
研究方向
页码范围
589-592
页数
4页
分类号
TH703
字数
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0253-987X.2007.05.019
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
朱军
上海交通大学微纳科学技术研究院
52
663
14.0
25.0
2
贾书海
西安交通大学理学院
42
262
9.0
14.0
3
孙潇
西安交通大学理学院
8
30
3.0
5.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
版权信息
全文
全文.pdf
引文网络
引文网络
二级参考文献
(23)
共引文献
(18)
参考文献
(10)
节点文献
引证文献
(9)
同被引文献
(9)
二级引证文献
(30)
1900(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1986(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1993(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1997(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1998(2)
参考文献(1)
二级参考文献(1)
1999(3)
参考文献(0)
二级参考文献(3)
2000(4)
参考文献(1)
二级参考文献(3)
2001(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
2002(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
2003(3)
参考文献(0)
二级参考文献(3)
2004(10)
参考文献(4)
二级参考文献(6)
2005(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2006(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
2007(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2008(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2009(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
2010(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2011(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2012(9)
引证文献(1)
二级引证文献(8)
2013(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
2014(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2015(6)
引证文献(1)
二级引证文献(5)
2016(4)
引证文献(1)
二级引证文献(3)
2017(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2018(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2019(6)
引证文献(1)
二级引证文献(5)
研究主题发展历程
节点文献
微电子机械系统
微针
同步辐射
光刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
西安交通大学学报
主办单位:
西安交通大学
出版周期:
月刊
ISSN:
0253-987X
CN:
61-1069/T
开本:
大16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
1960-01-01
语种:
chi
出版文献量(篇)
7020
总下载数(次)
0
总被引数(次)
81310
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
期刊文献
相关文献
1.
微电子机械系统中微尺度热物性研究进展
2.
微电子机械系统的几个力学问题
3.
微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
4.
微电子机械系统的力学特性与尺度效应
5.
基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺
6.
微电子机械系统中典型构件的力电耦合分析及其应用研究
7.
微电子机械系统中的残余应力问题
8.
一种机械系统非线性类别辨识方法
9.
材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象
10.
微电子机械系统中的超微电机
11.
微电子机械系统技术及其应用
12.
微电子机械系统的尺寸效应
13.
微电子机械系统技术在航天航空中的应用
14.
微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究
15.
机械系统精度分配与评价方法的研究
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
西安交通大学学报1999
西安交通大学学报2000
西安交通大学学报2001
西安交通大学学报2002
西安交通大学学报2003
西安交通大学学报2004
西安交通大学学报2005
西安交通大学学报2006
西安交通大学学报2007
西安交通大学学报2008
西安交通大学学报2009
西安交通大学学报2010
西安交通大学学报2011
西安交通大学学报2012
西安交通大学学报2013
西安交通大学学报2014
西安交通大学学报2015
西安交通大学学报2016
西安交通大学学报2017
西安交通大学学报2018
西安交通大学学报2019
西安交通大学学报2020
西安交通大学学报2007年第1期
西安交通大学学报2007年第3期
西安交通大学学报2007年第6期
西安交通大学学报2007年第7期
西安交通大学学报2007年第9期
西安交通大学学报2007年第8期
西安交通大学学报2007年第5期
西安交通大学学报2007年第11期
西安交通大学学报2007年第2期
西安交通大学学报2007年第10期
西安交通大学学报2007年第4期
西安交通大学学报2007年第12期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号