氮化硅薄膜制备方法现状综述

• 作者: 张伟儒 李伶 王志刚 王重海
• 来源期刊: 现代技术陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅薄膜 制备方法 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与述评
• 页码范围: 12-18
• 页数: 7页
• 分类号: TQ17
• 字数: 6846字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-1198.2007.02.004

摘要

氮化硅薄膜是一种多功能材料,在许多领域有着广泛的应用.本文系统综述氮化硅薄膜的性质、结构、应用及各种制备方法,并对今后的研究作了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伶		23	134	7.0	10.0
2	王重海		44	364	10.0	17.0
3	张伟儒		12	99	7.0	9.0
4	王志刚	山东理工大学材料科学与工程学院	7	65	4.0	7.0