基于接触势差法的表面功函数测试装置

• 作者: 刘善鹏 委福祥 张志林 张浩 曹进 蒋雪茵 黄伟
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 功函数 接触势差 ITO 有机电致发光
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 505-509
• 页数: 5页
• 分类号: TN383.1
• 字数: 2804字
• 语种: 中文

摘要

利用接触势差法自行设计开发了一种新型的表面功函数测试装置.基本原理是参考电极与样品之间形成电容,计算流过参考电极与样品之间的电流,通过确定电流的零点来获得功函数.此测量仪器由函数发生、功率放大、振荡器等多个功能模块组成.能在空气环境中快速测量半导体、金属、金属氧化物薄膜的表面功函数.我们运用此装置成功地对有机电致发光的阳极氧化铟锡(ITO)薄膜、p型硅片的功函数进行了测量,得到了样品经过UV-Ozone处理前后功函数随时间变化的曲线,为器件的优化提供了依据.