MEMS变形镜用PZT厚膜致动器阵列的制备及性能表征

• 作者: 冯艳 刘爽 李保庆 褚家如 许晓慧
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 变形镜 压电陶瓷 锆钛酸铅(ZZT)厚膜 刻蚀
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 261-265
• 页数: 5页
• 分类号: TN16
• 字数: 2826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.04.007

摘要

提出了一种基于锆钛酸铅(PZT)压电厚膜致动器阵列驱动的MEMS微变形镜,建立了该微变形镜的结构模型,分析了其结构中各层厚度对其性能的影响.PZT压电厚膜是通过基于PZT压电陶瓷体材料的湿法刻蚀技术制备的,刻蚀液为1BHF:2HCl:4NH4 Cl:4H2O.以数字锁相方法测试了压电厚膜的介电性能,在100 kHz以下时,其介电常数和介质损耗分别优于2400和3%.利用悬臂梁方法测试了压电厚膜的也.横向压电系数,约为-250 pm/V.制备了4×4阵列的压电致动器阵列.采用激光多普勒测试压电致动器的电压位移曲线,在100 V的电压驱动下致动器的变形量大约为2.2/μm;测试了致动器的频率响应,其谐振频率高于100 kHz;致动器刚度大,带负载能力强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李保庆	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	137	2920	33.0	43.0
2	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
3	刘爽	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	27	238	9.0	15.0
4	许晓慧	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	13	75	6.0	8.0
5	冯艳	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	5	28	3.0	5.0