MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用

• 作者: 吕宇强 吴淼 胡明 颜海洋
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 红外探测器 微桥 微悬臂
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 90-92,96
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 3074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.01.030

摘要

微机电系统(MEMS)技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术,它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径.目前,应用MEMS技术制作的主要有微测辐射热计微桥结构和微悬臂红外探测器双层悬臂结构2种.对它们各自的工作原理、组成结构、MEMS工艺实现以及发展方向作了较为详细的阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
2	吴淼	天津大学电子信息工程学院	8	138	6.0	8.0
3	吕宇强	天津大学电子信息工程学院	11	99	5.0	9.0
4	颜海洋	天津大学电子信息工程学院	5	46	5.0	5.0