一种新型低压电容式RF MEMS开关的设计与分析

• 作者: 宋明歆 曹一江 朱敏 殷景华 贺训军
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS开关 驱动电压 扭转 仿真
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 1547-1551
• 页数: 5页
• 分类号: TM564
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.05.006

摘要

介绍了一种基于扭转的新型低压电容式RF MEMS开关的设计.此开关在保留传统挠曲变形的基础上,引入了扭转变形,并利用IntelliSuite等软件进行仿真分析.理论分析和仿真结果表明:与传统弯曲变形不同,在扭转变形中,变形对臂的厚度远比宽度敏感;在保留传统挠曲变形的基础上,增加了扭转变形,将有效降低驱动电压.理论分析还表明增长扭转臂、从动臂可使驱动电压明显下降.通过优化结构设计,在扭转臂、从动臂长为180 μm、120 μm,臂宽为5 μm,厚为1 μm,驱动电极面积为120 μm×120 μm时,仿真得到驱动电压为1.5 V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷景华	哈尔滨理工大学应用科学学院	74	301	9.0	12.0
2	朱敏	哈尔滨理工大学应用科学学院	7	25	3.0	5.0
3	宋明歆	哈尔滨理工大学应用科学学院	19	51	4.0	6.0
4	曹一江	哈尔滨理工大学应用科学学院	29	98	5.0	8.0
5	贺训军	哈尔滨理工大学应用科学学院	16	40	4.0	5.0