石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系

• 作者: 宁永怀 崔媛媛 张福学 田文杰 鄂然
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石英单基多谐振器 力敏特性 加力方位角
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 257-259
• 页数: 3页
• 分类号: TH703.2
• 字数: 1714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.082

摘要

根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器.采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特性进行了比较.实验结果表明,同一晶体基片上不同位置的谐振器的力敏特性与加力方位密切相关;选择适当的加力方位,可使多电极结构的谐振器的力-频转换系数优于单电极谐振器的力-频转换系数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张福学	北京信息工程学院传感器技术研究中心	123	623	13.0	17.0
2	宁永怀	北京信息工程学院传感器技术研究中心	5	11	2.0	3.0
3	田文杰	北京信息工程学院传感器技术研究中心	37	158	6.0	11.0
4	鄂然	北京信息工程学院传感器技术研究中心	5	15	3.0	3.0
5	崔媛媛	北京信息工程学院传感器技术研究中心	5	15	3.0	3.0