钽喷丝头表面覆加金刚石膜的研究

• 作者: 姚锦元 王裕超
• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 钽喷丝头 表面强化 金刚石膜 金刚石薄膜 扫描电镜观察 硬度测试 热丝CVD 大粒径
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 11-12
• 页数: 2页
• 分类号: TG76

摘要

为改善钽喷丝头的品质，提高其硬度和耐碱腐蚀能力，利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜，并通过对钽衬底的碳化处理，成功使之沉积于纯钽喷丝头表面，对纯钽喷丝头进行表面强化。通过场发射扫描电镜观察，大粒径金刚石薄膜有少量孔隙，小粒径金刚石薄膜细腻致密。硬度测试结果表明，金刚石薄膜钽喷丝头表面硬度达HV1000以上，远高于纯钽及其它工艺处理后的钽喷丝头。可纺性试验结果表明，其性能都达到或超过传统喷丝头，完全可以取代成本高昂的铂金喷丝头。