离子辅助蒸发(1-x)TiO2-(x)Ta2O5薄膜及其光学性能研究

• 作者: 张光勇 王汉华 薛亦渝 郭培涛 马中杰
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 TiO2-Ta2O5 透射率 光学常数
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.04.009

摘要

采用离子辅助蒸发的方法,以不同配比的Ta2O5和TiO2混合物为初始膜料在K9玻璃上制备了TiO2-Ta2O5混合薄膜,并对其透射性能和光学常数进行研究.实验结果表明,薄膜在可见光范围内的平均透射率在82%以上,并随着Ta2O5含量的增加而增加;薄膜的折射率在1.80～2.07范围内变化(550 nm).对同一Ta2O5含量的薄膜来说,退火后TiO2薄膜和80TiO2-20Ta2O5薄膜的折射率较退火前提高,而90TiO2-10Ta2O5薄膜的折射率较退火前降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛亦渝	武汉理工大学材料科学与工程学院	48	532	13.0	21.0
2	王汉华	武汉理工大学材料科学与工程学院	5	31	3.0	5.0
3	郭培涛	武汉理工大学材料科学与工程学院	20	74	5.0	8.0
4	张光勇	武汉理工大学材料科学与工程学院	5	31	3.0	5.0
5	马中杰	武汉理工大学材料科学与工程学院	6	31	3.0	5.0