改进型二维位置敏感探测器示值误差的标定

• 作者: 袁江 邱自学
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: PSD传感器 示值误差 标定
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 113-115
• 页数: 3页
• 分类号: TG8
• 字数: 1565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2007.01.036

摘要

分析了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路,针对PSD传感器示值误差较大的缺点,设计了利用万能工具显微镜的实验标定系统,运用误差理论对传感器位置测试数据进行了标定修正.试验结果表明,PSD传感器A区的示值误差可减小到±0.02mm内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁江		51	231	8.0	12.0
2	邱自学		109	457	11.0	15.0