基于AFM的机器人化纳米操作中纳观力的初步研究

• 作者: 席宁 王越超 田孝军 董再励
• 来源期刊: 机器人
• 关键词: 纳观力分析 力-距离曲线 机器人化纳米操作 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 363-367
• 页数: 5页
• 分类号: TP24|TH742
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0446.2007.04.011

摘要

针对基于原子力显微镜(AFM)的机器人化纳米操作,对探针作用下探针-基片-微粒之间纳观力的作用规律进行了初步分析.指出起主要作用的纳观力为范德华力、接触斥力、纳米摩擦力、毛细作用力以及纳米静电力等五种,并初步推导了各种纳观力的表达形式.通过力-距离曲线仿真与实验验证了所进行分析的合理性;该分析有助于进行纳米操作的精确控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王越超	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室	153	3040	30.0	48.0
2	董再励	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室	73	1005	17.0	29.0
3	田孝军	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室	10	64	4.0	8.0
4	席宁	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室	33	191	9.0	13.0