前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾

• 作者: 杨乃恒
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 高真空 油扩散泵 增压泵
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 真空获得
• 页码范围: 1-11
• 页数: 11页
• 分类号: TB752+.42|TB71
• 字数: 5418字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.01.001

摘要

详细地介绍了前苏联1953年由国家制订的高真空油扩散泵工业产品的统一系列.该系列包括五种规格,在入口压力为1×10-4～1×10-5 Torr(1 Torr=133 Pa,下同)范围内,对空气的抽速为100～8000 L/s,用Д-1A号泵油获极限压力为(2～5)×10-6 Torr.以后又补充一台H-40T大泵抽速为32000 L/s.抽速100和500 L/s的泵为二级喷咀;抽速为2000、5000和8000 L/s的泵为三级喷咀,而32000 L/s的大泵出口连接一台БН-3型油增压泵.所有这些泵的最大出口压力不低于0.1 Torr,因此前级泵可直接用机械真空泵,不必用增压泵即能正常工作.1990年按国际标准口径又研制了新系列产品,性能有所改进.本文对目前我国生产高真空系列扩散泵有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨乃恒		40	356	12.0	17.0