电阻式湿度传感器制作工艺的革新

• 作者: 杨清风 王亚峰
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 氮化硅 光刻技术 湿敏层 漏阻 耐水性
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 改进与制作
• 页码范围: 77-78
• 页数: 2页
• 分类号: TP2
• 字数: 1403字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2007.07.027

摘要

介绍一种制作电阻式湿度传感器的革新工艺,使电阻值减小,电极间隙仅10μm,能检测狭小空间的湿度,具有长期稳定性,易于实现小型化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亚峰		11	13	2.0	3.0
2	杨清风		5	5	2.0	2.0