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MEMS技术的发展与应用
MEMS技术的发展与应用
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摘要：
介绍了MEMS的基本概念、系统结构、技术特点,并结合MEMS的发展史和制造技术,对MEMS的应用领域作了阐述.
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS
微小型化
微传感器
研究起点
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研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
济南职业学院学报
主办单位：
济南职业学院
出版周期：
双月刊
ISSN：
1673-4270
CN：
37-1434/Z
开本：
大16开
出版地：
山东省济南市舜耕路12号
邮发代号：
创刊时间：
1999
语种：
chi
出版文献量（篇）
4616
总下载数（次）
10
总被引数（次）
8083
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