蒙特卡罗方法模拟PVD薄膜生长的研究进展(综述)

• 作者: 吴炜 张静 李春梅 苏宇 谭天亚 郭永新 韩宇
• 来源期刊: 辽宁大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 蒙特卡罗方法 模拟 薄膜生长 基底
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 120-123
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5846.2007.02.007

摘要

综述了蒙特卡罗方法模拟物理气相沉积薄膜生长的研究进展.特别对基底的表面形貌、结构缺陷、沉积温度等因素对薄膜生长影响的蒙特卡罗方法模拟的研究进展进行了分析和归纳.最后对蒙特卡罗方法模拟薄膜生长的研究进行了展望.