微细工件的高频群脉冲ECLM试验研究

• 作者: 付伟 张之敬 温楠
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: ECLM 群脉冲 微细加工 电化学
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2327字
• 语种: 中文

摘要

进行了基于光刻技术的高频群脉冲微细电化学薄片加工(ECLM)试验研究.对于微细薄片型金属工件而言,在高频(20 kHz)、群脉冲形式的电压作用下,采用复合成分的电解液,选取合适的电化学加工参数,可获得理想的加工效果.试验结果表明,当加工电压幅值为10 V,初始间隙为0.1 mm时,所加工的超薄微细工件的精度可控制在10μm以内.该方法是微细薄片零件加工的一种有效方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张之敬	北京理工大学机械与车辆工程学院	124	825	13.0	22.0
2	付伟	北京理工大学机械与车辆工程学院	3	15	3.0	3.0
3	温楠	北京理工大学机械与车辆工程学院	1	6	1.0	1.0