热处理对磁控溅射制备氧化铬涂层的结构及力学性能的影响

• 作者: 古宏伟 庞晓露 李弢 杨会生 王燕斌 罗飞 高克玮
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 热处理 氧化铬 硬度 耐磨性 结合力
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|O484
• 字数: 3821字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.06.011

摘要

本文采用射频反应磁控溅射技术制备氧化铬涂层并在不同温度及不同的保温时间内进行热处理,通过X射线衍射、纳米压痕、摩擦磨损测试仪等研究温度及保温时间对涂层结构、表面形貌、硬度、弹性模量、耐磨性及涂层与基体间的结合力进行研究.研究表明低于其晶化温度(400℃)进行退火对其结构影响不大,其力学性能没有明显提高,而在高于其晶化温度(500℃)进行退火,其结构变化比较明显,同时其力学性能显著提高,其硬度从初始态的12.3 GPa提高到26GPa,相同试验条件下的磨损量也显著降低,从初始态的1.1×10-3 mm3降低到1×10-5 mm3.涂层与基体之间的结合力随着退火温度的提高、保温时间的延长有明显的改善.保温时间对其结构影响不大,但对其表面形貌有一定的影响,在低于晶化温度延长保温时间表面平均粗糙度降低,而高于晶化温度延长保温时间表面平均粗糙度增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高克玮	北京科技大学材料物理与化学系	110	613	13.0	19.0
2	王燕斌	北京科技大学材料物理与化学系	44	250	9.0	13.0
3	古宏伟		33	206	6.0	13.0
4	庞晓露	北京科技大学材料物理与化学系	27	38	3.0	4.0
5	杨会生	北京科技大学材料物理与化学系	21	118	6.0	10.0
6	李弢		21	85	5.0	8.0
7	罗飞	北京科技大学材料物理与化学系	3	18	2.0	3.0