基于MEMS微型振动式发电机的计算与模拟分析

• 作者: 刘雪花 唐彬 温中泉 温志渝 董媛
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 驻极体 振动 发电机
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 881-884,891
• 页数: 5页
• 分类号: TH89
• 字数: 2676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.09.008

摘要

提出了一种基于驻极体的MEMS微型振动式发电机,该微型发电机通过极化电荷在由振动引起变化的电容极板之间转移,实现外部振动机械能向电能的转换.在已研制出的驻极体材料基础上,通过对微型振动式发电机的叉指参数、驻极体与电极的间距等参数进行了计算分析,从理论上得到了最大功率为250μW的微型振动式发电机模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐彬		1	6	1.0	1.0
2	温中泉		1	6	1.0	1.0
3	温志渝		2	49	2.0	2.0
4	董媛		1	6	1.0	1.0
5	刘雪花		1	6	1.0	1.0