多层结构声表面波滤波器的研究进展

• 作者: 张树人 李健雄 杨成韬 王锐
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 多层结构 声表面波滤波器 压电薄膜 金刚石
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TN7
• 字数: 3121字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2007.11.004

摘要

无线通讯系统向高频率、高可靠性的发展要求声表面波滤波器(SAWF)同时具备高声速、高机电耦合系数、低插入损耗、高温度稳定性,而多层结构SAWF能够满足这些要求,因此多层结构SAWF近年来引起了人们极大的关注,并取得了较大的进展.简述了SAWF的基本结构和原理,回顾了近年来多层结构SAWF的研究进展,包括理论研究和实验研究,展望了其今后的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	187	1176	16.0	24.0
2	杨成韬	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	67	255	8.0	12.0
3	王锐	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	8	32	3.0	5.0
4	李健雄	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	5	18	3.0	4.0