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超高数值孔径镜头面临的挑战
超高数值孔径镜头面临的挑战
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摘要：
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大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题
波像差测量
剪切干涉仪
大数值孔径(NA)物镜
光刻物镜
一种新的光纤数值孔径测量方法
光纤
数值孔径
光纤传感实验仪
高数值孔径聚焦三维光链的研究
衍射光学元件
矢量光
光镊
高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
光学设计
高数值孔径(NA)投影光刻物镜
深紫外投影光刻物镜
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期刊影响力
集成电路应用
主办单位：
上海贝岭股份有限公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1674-2583
CN：
31-1325/TN
开本：
16开
出版地：
上海宜山路810号
邮发代号：
创刊时间：
1984
语种：
chi
出版文献量（篇）
4823
总下载数（次）
15
总被引数（次）
4205
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