金属互连电迁移噪声的相关维数研究

• 作者: 何亮 卫涛 庄奕琪 杜磊 陈春霞 黄小君
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电迁移 噪声 相关维数 混沌
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 7176-7182
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 4712字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.061

摘要

针对金属铝互连中噪声信号随电迁移过程变化规律及其所反映的内部失效机理问题,提出将相关维数用于对电迁移噪声时间序列的分析.通过对互连电迁移噪声实验数据的相关维数计算,发现随着电迁移的进行,金属铝互连噪声由随机性成分占主导变为确定性成分占主导,反映出噪声由随机信号转变为混沌动力学信号.应用散射理论解释上述现象,在金属互连电迁移中,空位扩散阶段噪声主要产生机制是空位随机散射;在空位聚集到空洞成核这一过程中,噪声产生机制逐渐从随机散射转变到弹道混沌腔输运机制为主.通过与传统表征参量的对比,证明相关维数可用于预测金属互连的电迁移失效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄奕琪	西安电子科技大学微电子学院	183	1168	15.0	22.0
2	杜磊	西安电子科技大学技术物理学院	99	486	13.0	18.0
3	何亮	西安电子科技大学技术物理学院	36	212	7.0	14.0
4	黄小君	西安电子科技大学技术物理学院	3	31	3.0	3.0
5	陈春霞	西安电子科技大学技术物理学院	3	31	3.0	3.0
6	卫涛	西安电子科技大学技术物理学院	3	31	3.0	3.0