梳状谐振式磁场传感器设计

• 作者: 李成章 黄庆安
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁场传感器 谐振式 罗伦兹力 频率输出
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 279-281
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.13
• 字数: 2090字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.088

摘要

给出了一种新型梳状微机械谐振式磁场传感器的设计.采用静电激励和静电检测,通过罗伦兹力的反馈将磁场的大小转变为频率输出.对结构模型进行简化,推导出了本征频率的计算公式并进行了ANSYS模拟.通过尺寸的设计,该传感器的灵敏度可以达到258 kHz/T.