表面粗糙度光学测量方法研究进展

• 作者: 张艳娥 张锡芳 王政平
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗糙度测量 光学测量 非接触测量
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TG84
• 字数: 2887字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.09.002

摘要

表面粗糙度对工件的性能有很大的影响,由于机械、电子及光学工业的飞速发展,对精密机械加工表面的质量及结构小型化的要求日益提高,使得表面粗糙度测量显现出越来越重要的地位.采用光学方法测量表面粗糙度具有非接触、无损伤、测量精度高等优点.介绍了用光散射法、像散法、散斑法、光干涉法、光学触针法测量表面粗糙度的原理及研究进展,讨论了上述方法各自的优缺点,对表面粗糙度测量的发展方向进行了预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王政平	哈尔滨工程大学理学院	92	841	16.0	24.0
2	张锡芳	哈尔滨工程大学理学院	4	59	3.0	4.0
3	张艳娥	哈尔滨工程大学理学院	3	58	3.0	3.0