三维应变式位移测振传感器机械结构的设计

• 作者: 余晓芬 王新
• 来源期刊: 工业计量
• 学科: 工学
• 关键词: 三维测振 应变式 微型式 微振动
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 计量测试与检定
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TH82
• 字数: 2826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1183.2007.03.001

摘要

应变式传感器由于自身具有的灵敏度、测量精度和可靠性高、动态响应快、抗干扰性强等特性,已经在很多领域广泛应用.文章中设计的三维位移振动传感器采用的是半导体应变式,在机械结构上架构了测量三维振动的空间体系,其对称型机构能消除部分误差,主要应用在测量微振动和低频振动上,而且在微型化方面取得了很大的进步.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余晓芬	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	97	756	14.0	22.0
2	王新	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	9	14	3.0	3.0