基于超声电机的X-Y精密定位工作台

• 作者: 白永明 纪跃波 黄卫清
• 来源期刊: 机电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超声电机 工作台 精密定位
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 机电设计研究
• 页码范围: 37-39
• 页数: 3页
• 分类号: TP23
• 字数: 2181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4801.2007.01.014

摘要

超声电机是一种新型的微型电机,与传统的电磁电机相比它具有很多优点.基于这些优点超声电机可以在诸如定位、跟踪等方面有较好的应用.本文将超声电机作为于定位工作台的驱动部件,由两台行波型超声电机分别带动工作台的X、Y轴上的滚珠丝杠旋转,实现X-Y工作台的精确定位,定位精度可以达到2微米.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄卫清	南京航空航天大学精密驱动研究所	124	1217	19.0	27.0
2	白永明	南京航空航天大学精密驱动研究所	4	16	3.0	4.0
3	纪跃波	南京航空航天大学精密驱动研究所	5	85	4.0	5.0