一维AlN纳米结构制备进展

• 作者: 修向前 刘斌 张琦 张荣 童麟 聂超 谢自力
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝 一维 纳米结构
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 868-874,905
• 页数: 8页
• 分类号: TB34|TB383
• 字数: 5276字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.09.005

摘要

采用CVD、碳纳米管模板法等方法已经制成了纳米线、纳米管等多种结构;同时研制成功多种一维纳米结构的阵列.用CVD方法合成的AlN纳米线直径为几十纳米、纳米线长度可以达到几十微米:用碳纳米管模板法可以控制AlN纳米线的直径.同时,AlN纳米线也已经在场致发射的研究领域得到应用.综述了AlN一维纳米结构材料的制备方法,分析研究了AlN一维纳米结构的合成反应机理和材料特性.