光波导显微技术测量微小厚度变化

• 作者: 刘选斌 曹庄琪 朱鹏飞 杜嘉斌 沈启舜
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 导波光学 衰减全反射 显微术 金属薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TN814
• 字数: 2220字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.02.007

摘要

在表面等离子波显微技术(SPM)的基础上,提出了一种新的反射型波导显微理论,并且进行了实验研究.这种显微技术采用棱镜波导耦合结构,在棱镜下底面依次镀有金属膜-波导层-样品层.利用导模共振吸收峰对样品层厚度敏感的特性,通过反射光强的测量来确定样品层厚度的变化值.和表面等离子波显微技术相比,光波导显微技术所采用的波导结构能够有效地削弱金属的吸收特性造成的影响,减小衰减全反射曲线的半峰全宽,进而提高波导显微对厚度变化的灵敏度.实验表明,光波导显微技术对厚度变化有很高的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹庄琪	上海交通大学物理系	56	224	8.0	11.0
2	沈启舜	上海交通大学物理系	37	190	7.0	10.0
3	朱鹏飞	上海交通大学物理系	10	58	4.0	7.0
4	杜嘉斌	上海交通大学物理系	2	4	1.0	2.0
5	刘选斌	上海交通大学物理系	2	7	2.0	2.0