多光点扫描数字光刻制作DOE的方法研究

• 作者: 张志友 方亮 杜惊雷 段茜 王景全 郭小伟
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: DMD 数字光刻 分辨率 扫描 DOE
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1315-1320
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2007.06.034

摘要

在DMD(Digital Micromirror Device)数字光刻系统中使用微透镜阵列聚焦可在像面获得灰度点阵图形,若曝光的同时基底按预设计的方式同步扫描,则可形成所需求的曝光场分布.这一方法用于衍射微光学元件(DOE)制作,可方便快捷获得高质量的连续面形微结构.文中通过对扫描方式的分析和计算,给出了适于菲涅耳微透镜制作的基片台扫描参数和模拟结果,为用该系统进行DOE实际制作提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜惊雷	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	77	611	13.0	18.0
2	郭小伟	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	11	114	6.0	10.0
3	方亮	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	5	28	3.0	5.0
4	张志友	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	23	73	5.0	7.0
5	段茜	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	7	13	3.0	3.0
9	王景全	四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所	5	26	3.0	5.0