一种微摩擦力光学测试方法

• 作者: 刘治华 孟令启 杨杰伟 王春丽
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微摩擦力 微机电系统(MEMS) 光学测试 力传感器
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TN206
• 字数: 2557字
• 语种: 中文

摘要

为了测试微观条件下材料表面的摩擦学性能,给出了一种微摩擦力的光学测试方法.基于MEMS工艺制作了硅微力传感器,通过标定的方法得到了微力与传感器的变形量之间的关系,采用光反射的方法测量了试验过程中传感器的变形量,进而通过数据处理得到微摩擦力.简要介绍了微摩擦力的光学测试原理,给出了硅微力传感器的结构及制作过程,并对铜和铝的表面进行了微摩擦力测量.初步试验结果表明,该方法具有测试精度高、重复性好、系统性能稳定的优点,能满足微机电系统中摩擦力测试的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘治华	郑州大学机械工程学院	39	141	7.0	9.0
2	王春丽	郑州大学管理工程系	6	25	3.0	5.0
3	杨杰伟	郑州大学机械工程学院	17	48	3.0	6.0
4	孟令启	郑州大学机械工程学院	78	354	11.0	16.0