一种基于压电薄膜逆压电效应的新型集成微镜

• 作者: 娄利飞 杨银堂 毕发社 汪家友
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微镜 有限元模拟 压电薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 2793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2007.01.010

摘要

设计了一种采用锆钛酸铅(PZT)压电薄膜悬臂梁作为驱动机理的500 μm×500 μm微镜结构.该微镜主要由4个悬臂梁与1个反射镜组成,4个悬臂梁起支撑微镜的作用,即微镜主要利用微悬臂梁自由端头的小挠度来实现垂直方向的位移.提出了与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺相兼容的制作方法,利用有限元软件ANSYS7.0对压电微镜的反射镜平整度、结构机械强度、线性度、响应速度和功耗等性能进行了研究,并与数值计算结果进行了比较,结果表明此微镜达到了快速、高精度、低功耗的设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪家友	西安电子科技大学微电子所宽禁带半导体材料与器件教育部重点试验室	31	267	11.0	15.0
2	杨银堂	西安电子科技大学微电子所宽禁带半导体材料与器件教育部重点试验室	420	2932	23.0	32.0
3	娄利飞	西安电子科技大学微电子所宽禁带半导体材料与器件教育部重点试验室	13	72	6.0	8.0
4	毕发社	西安通信学院军事综合信息网教研室	1	2	1.0	1.0