测量条件对掺锡氧化铟薄膜电学测量结果的影响

• 作者: 李雪蓉 林丽梅 瞿燕 赖发春
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺锡氧化铟薄膜 电学性质 电流测量 磁场测量
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 学生园地
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2007.04.016

摘要

用van der Pauw方法测量磁控溅射制备的掺锡氧化铟(ITO)薄膜的电学性能,研究了在室温和冰水混合条件下测量电流大小对电阻率测量结果的影响;在室温条件下测量电流和磁场的大小对载流子浓度和迁移率测量结果的影响.实验结果显示,测量电流为5 mA和测量磁场为0.5 T时,测量结果最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林丽梅	福建师范大学物理与光电信息科技学院	28	139	8.0	11.0
2	瞿燕	福建师范大学物理与光电信息科技学院	19	108	6.0	10.0
3	赖发春	福建师范大学物理与光电信息科技学院	37	216	8.0	13.0
4	李雪蓉	福建师范大学物理与光电信息科技学院	1	9	1.0	1.0