基于Sigmund理论的溅射产额计算及分析

• 作者: 刘珍 王君 陈明 陈长琦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: Sigmund理论 溅射产额 入射离子能量
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TB71
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.02.011

摘要

溅射产额是表征溅射效应的重要参数.Sigmund的线性级联碰撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展.本文对Sigmund理论进行简单介绍,并对基于Sigmund理论的各种经验公式进行分析.在此基础上,对不同条件下的溅射产额进行了计算,通过计算结果,对各种公式的使用范围进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长琦	合肥工业大学机械与汽车工程学院	119	1027	16.0	26.0
2	陈明	合肥工业大学机械与汽车工程学院	13	38	3.0	6.0
3	王君	合肥工业大学机械与汽车工程学院	32	131	7.0	9.0
4	刘珍	合肥工业大学机械与汽车工程学院	4	33	3.0	4.0