真空氦质谱检漏原理与方法综述

• 作者: 孙开磊 孙新利
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 检漏 氦质谱检漏仪 真空 试件
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 62-65
• 页数: 4页
• 分类号: TN107
• 字数: 1265字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2007.06.017

摘要

介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用.较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原理与方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙新利		53	234	7.0	12.0
2	孙开磊		1	46	1.0	1.0