硅-蓝宝石高温大量程压力传感器设计

• 作者: 姚东嫒 张枫 张爱平 闻化 高成臣
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 硅-蓝宝石 压力传感器 结构设计
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 97-99
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.12.032

摘要

介绍了一种硅-蓝宝石高温大量程压力传感器的设计,提出了采用小直径C型膜片的一体化结构,通过合理排布力敏电阻条位置,能够制作出高精度大量程压力传感器.采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器,其工作温度范围为-50～350℃;满量程输出≥100mV;精度优于0.1%;迟滞与重复性均优于0.05%FS.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张枫		8	46	3.0	6.0
2	闻化		4	23	3.0	4.0
3	高成臣	中国电子科技集团公司第四十九研究所	4	34	4.0	4.0
4	张爱平		5	20	2.0	4.0
5	姚东嫒	中国电子科技集团公司第四十九研究所	1	14	1.0	1.0