溅射制备非晶氮化镓薄膜的光学性能

• 作者: 张振兴 李晖 潘孝军 谢二庆 贾璐
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶氮化镓 溅射制备 光学性能
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 725-728
• 页数: 4页
• 分类号: O472|O484
• 字数: 1729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324x.2007.04.031

摘要

利用直流磁控溅射方法制备了GaN薄膜.X射线衍射及Raman光谱结果表明薄膜样品为非晶结构;傅立叶红外光谱表明薄膜样品的主要吸收峰为Ga-N键的伸缩振动;光致发光测试得到了360nm处的紫外发光谱;测量薄膜样品的紫外-可见谱,并利用Tauc公式计算得到样品的光学带隙为3.74eV,这与光致发光谱得到的结果是一致的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢二庆	兰州大学物理科学与技术学院	84	371	11.0	14.0
2	张振兴	兰州大学物理科学与技术学院	20	40	4.0	5.0
3	潘孝军	兰州大学物理科学与技术学院	13	38	4.0	5.0
4	李晖	兰州大学物理科学与技术学院	12	46	4.0	6.0
5	贾璐	兰州大学物理科学与技术学院	4	7	2.0	2.0