影响SMIF微环境中气流状态因素的探讨

• 作者: 徐玉党 梁家富
• 来源期刊: 制冷与空调（四川）
• 学科: 工学
• 关键词: SMIF 气流状况 微环境 洁净技术
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 论坛
• 页码范围: 89-91,88
• 页数: 4页
• 分类号: TM92
• 字数: 2527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6612.2007.01.025

摘要

在洁净室中应用SMIF微环境技术可以有效减少气体微粒,并实现硅片同工作人员及工艺设备的相互隔离.本文主要论述气流对微粒运动的影响,在微环境SMIF系统中的气流状况,以及影响微环境中的气流因素进行分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐玉党	华中科技大学建筑环境与设备工程系	39	372	11.0	16.0
2	梁家富	华中科技大学建筑环境与设备工程系	1	1	1.0	1.0